公司介绍
5N5 Al 是指纯度达到 99.9995%(即“五点九”)的高纯铝,属于超高纯金属材料,广泛应用于半导体、集成电路、
高端电子器件及精密科研领域。
核心特性与标准
纯度等级:≥ 99.9995%(5N5),杂质总含量 ≤ 5 ppm(百万分之五)
关键杂质控制:
铀(U)、钍(Th)等放射性元素含量需控制在 1 ppb 以下,以避免α粒子释放导致芯片“软错误”
铁(Fe)、硅(Si)、铜(Cu)等常见金属杂质均控制在 ppb 级别
物理性能:
密度:约 2.70 g/cm³
熔点:660.32°C
导电性:极高,残余电阻比(RRR)可达 10,000 以上,适用于低温超导环境
反射率:对紫外线和可见光具有极高反射率,适合光学镀膜应用
微观结构:
经过深冷轧制与退火处理后,可获得均匀、细小的晶粒组织,提升材料一致性
✅ 高纯度与极低放射性杂质使5N5 Al成为半导体溅射靶材、集成电路配线和光电子存储介质的关键材料。
主要应用领域
半导体与芯片制造
用于 VLSI(超大规模集成电路) 中的金属互连层,替代部分铜工艺
作为 物理气相沉积(PVD)溅射靶材,要求纯度 ≥5N5,确保薄膜电性能稳定
光电子存储
在 CD、DVD、蓝光光盘 的银盘层中,使用5N5 Al溅射膜作为高反射率层
超导与低温工程
用于稳定 超导电缆与磁体系统,在液氦温区(−269°C)仍保持优异塑性和导电性
高端显示与光伏
大尺寸 TFT-LCD、PDP 显示器 及太阳能电池镀膜中用作溅射靶材,保障膜层均匀性与导电性